氣路系統主要用于處理高純度氣體或有毒氣體和腐蝕性氣體的控制設備，是方便于實驗室供氣及安全的氣路系統。主要用于實驗室、電子微電子、石油化工、太陽能、分析儀器、核電廠、生物制藥、質監局、學校科研、原子吸收光譜法、廢氣分析、食品包裝、海洋工業、醫療/工業激光工業等高科技領域。
1.管道、球閥、卡套和三通均為316L不銹鋼;減壓器為高純氣體減壓器(不銹鋼閥芯)，高壓軟管(連接鋼瓶和母線)為不銹鋼波紋管。高壓軟管的入口端設有單向閥，可防止鋼瓶更換時軟管內的氣體泄漏，同時防止外界空氣混入氣路。
2.管(guan)道(dao)系統:所有(you)氣(qi)(qi)體管(guan)道(dao)均采用(yong)巴級(ji)316L不銹鋼管(guan)，管(guan)道(dao)上有(you)過(guo)濾雜質和水分(fen)的凈化(hua)裝置(zhi)，使氣(qi)(qi)體在循環過(guo)程中不會被管(guan)道(dao)系統污染，保證氣(qi)(qi)體的純(chun)度(du)。同時，應有(you)明確(que)的標志來指示(shi)氣(qi)(qi)體的流向。
3.管道(dao)連(lian)接:母線和(he)端(duan)子部分通過卡套(tao)連(lian)接，便于減(jian)壓(ya)器和(he)閥門的維護(hu)和(he)管理(li)。
4.終端:每臺儀(yi)表前應配(pei)備截(jie)止(zhi)閥和二次減(jian)壓器(qi)(每種氣體一(yi)個)。截(jie)止(zhi)閥用于控制每個氣路的開啟和關閉(bi);當儀(yi)器(qi)需要調(diao)整和維護時，可(ke)以停止(zhi)任(ren)何(he)定儀器的供氣。減壓器用于顯示和調節終端(duan)的壓力。
1.不銹鋼管外(wai)明(ming)內(nei)凈是(shi)選(xuan)，其次(ci)是銅管(guan)和(he)塑料(liao)管(guan)。避(bi)免室外部(bu)件(jian)使用塑料(liao)管(guan)。
2.室內部件應盡可能使(shi)用不銹鋼管(guan)。聚四氟乙烯(xi)管(guan)或聚乙烯(xi)管(guan)可用于特(te)殊需要。
3.為(wei)了消除不必要的(de)隱(yin)患，減少管(guan)道(dao)可能的(de)泄漏點，建議使(shi)用超長不銹鋼軟管(guan)，容易(yi)彎(wan)曲和(he)改變方向。有時，為(wei)了便(bian)于施工(gong)和(he)設計，可以在管(guan)道(dao)中設置一些(xie)雙通和(he)三(san)通接頭。
1.高純氣體管道系統布置不同于普通氣體管道。通常要求管道不應太長，并且不應有不容易清洗的死角，如“盲管"。主管或支管的末端應提供必要的排放口和取樣口。在一些非連續使用的用戶中，少量氣體在管道末端連續排出，從而管道中的氣體將正常流動，并且沒有“死區"。根據工藝氣體的質量要求，如有必要，還需要布置末端凈化裝置。一般來說，控制閥、過濾器、減壓裝置、壓力表、流量計、在線分析儀器等。進入潔凈車間的高純度氣體管道集中在氣體人口室，便于統一管理和控制。
2.高(gao)純氣(qi)路(lu)管(guan)道(dao)(dao)及附(fu)件材(cai)料:高(gao)純氣(qi)體管(guan)道(dao)(dao)輸送管(guan)道(dao)(dao)應根(gen)據工(gong)藝對氣(qi)體純度(du)、允許雜質(zhi)含量(liang)、顆粒含量(liang)等的(de)不同(tong)要(yao)(yao)求(qiu)，采用相應質(zhi)量(liang)的(de)管(guan)道(dao)(dao)。例如，半導體工(gong)業不僅需要(yao)(yao)清潔(jie)的(de)生產(chan)環境，而且由于其(qi)復雜的(de)生產(chan)過(guo)程(cheng)和精細加工(gong)，對生產(chan)過(guo)程(cheng)中所需的(de)各種高(gao)純度(du)氣(qi)體也有具體和嚴(yan)格(ge)的(de)要(yao)(yao)求(qiu)。從微米技術到亞(ya)微米和深(shen)亞(ya)微米(小于0.35um)技術，對氣(qi)體中雜質(zhi)含量(liang)和水(shui)分(fen)含量(liang)的(de)要(yao)(yao)求(qiu)非(fei)常嚴(yan)格(ge)，10-6 (ppm級)不能滿(man)足要求。需(xu)要達(da)到10-9 (ppb級)甚至10-12(ppt級)，粉(fen)塵粒(li)徑需(xu)要控制在0.05-0.01 μm。因此，輸送管道的(de)管道材料特性(xing)必須滿(man)足高純度和超高純度氣體的(de)要求。
3.管道材料(liao)的(de)特性(xing)對(dui)于(yu)輸(shu)送高純氣體的(de)管道，影響(xiang)氣體質(zhi)量(liang)的(de)管道材料(liao)的(de)主要特性(xing)是透氣性(xing)、出氣率(lv)、吸(xi)附性(xing)、表面粗糙度(du)、耐磨性(xing)和耐腐蝕性(xing)。
外觀(guan)檢查
1.管(guan)道布線應水平(ping)(ping)、平(ping)(ping)直和垂(chui)直;管(guan)子固(gu)定牢固(gu)。
2.管道外表面(mian)無明顯損(sun)壞。
3.每(mei)個閥(fa)件沒(mei)有(you)明顯損壞。系(xi)(xi)統耐壓(ya)試驗如果(guo)管道(dao)在(zai)充滿壓(ya)力(li)后變(bian)形(xing)(如起泡、扭曲、膨(peng)脹和其他現象(xiang))，這(zhe)意味著系(xi)(xi)統不能在(zai)這(zhe)種壓(ya)力(li)下(xia)工作(zuo)。如果(guo)系(xi)(xi)統在(zai)此壓(ya)力(li)下(xia)長(chang)時間工作(zuo)，系(xi)(xi)統將(jiang)在(zai)變(bian)形(xing)位(wei)置爆裂，造成人(ren)身和財產(chan)損失(shi)。
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