气路系统主要用于处理高纯度气体或有毒气体和腐蚀性气体的控制设备，是方便于实验室供气及安全的气路系统。主要用于实验室、电子微电子、石油化工、太阳能、分析仪器、核电厂、生物制药、质监局、学校科研、原子吸收光谱法、废气分析、食品包装、海洋工业、医疗/工业激光工业等高科技领域。
1.管道、球阀、卡套和三通均为316L不锈钢;减压器为高纯气体减压器(不锈钢阀芯)，高压软管(连接钢瓶和母线)为不锈钢波纹管。高压软管的入口端设有单向阀，可防止钢瓶更换时软管内的气体泄漏，同时防止外界空气混入气路。
2.管(guan)(guan)道(dao)系统:所有气体(ti)管(guan)(guan)道(dao)均采用巴级316L不锈钢管(guan)(guan)，管(guan)(guan)道(dao)上有过滤杂质和(he)水分(fen)的净化装置，使气体(ti)在循环过程中不会(hui)被(bei)管(guan)(guan)道(dao)系统污染，保证气体(ti)的纯度。同时，应有明确(que)的标志来(lai)指示气体(ti)的流向。
3.管道连接:母线和端子部分通(tong)过(guo)卡套连接，便于减压器(qi)和阀门的(de)维护(hu)和管理。
4.终端:每台仪(yi)表前应配备(bei)截(jie)止阀和二次减压器(每种气体(ti)一个)。截(jie)止阀用(yong)于控制每个气路的(de)开(kai)启和关(guan)闭;当仪(yi)器需要调(diao)整和维护时，可以停止任(ren)何定仪器的供气。减(jian)压器用(yong)于显(xian)示(shi)和调节终端(duan)的压力。
1.不锈钢管外明内净是选，其次是铜(tong)管和塑(su)(su)料管。避免室外部件(jian)使用塑(su)(su)料管。
2.室内(nei)部件(jian)应尽可能使(shi)用不锈钢管(guan)。聚四氟乙(yi)烯管(guan)或(huo)聚乙(yi)烯管(guan)可用于特殊需要(yao)。
3.为(wei)了(le)消除(chu)不必要的(de)隐患，减少管道可能的(de)泄漏点，建议使用超长不锈钢(gang)软管，容(rong)易弯(wan)曲和改变方向(xiang)。有时，为(wei)了(le)便于施工和设计，可以(yi)在(zai)管道中(zhong)设置(zhi)一些双(shuang)通和三通接头(tou)。
1.高纯气体管道系统布置不同于普通气体管道。通常要求管道不应太长，并且不应有不容易清洗的死角，如“盲管"。主管或支管的末端应提供必要的排放口和取样口。在一些非连续使用的用户中，少量气体在管道末端连续排出，从而管道中的气体将正常流动，并且没有“死区"。根据工艺气体的质量要求，如有必要，还需要布置末端净化装置。一般来说，控制阀、过滤器、减压装置、压力表、流量计、在线分析仪器等。进入洁净车间的高纯度气体管道集中在气体人口室，便于统一管理和控制。
2.高纯气(qi)路管道(dao)及附件材料:高纯气(qi)体(ti)管道(dao)输送(song)管道(dao)应根据工(gong)艺对气(qi)体(ti)纯度(du)(du)、允(yun)许杂质含量、颗粒含量等的(de)(de)不同(tong)要(yao)求(qiu)(qiu)，采用(yong)相应质量的(de)(de)管道(dao)。例如，半(ban)导(dao)体(ti)工(gong)业不仅(jin)需要(yao)清洁(jie)的(de)(de)生产环境，而且由于其复杂的(de)(de)生产过程和精(jing)细加(jia)工(gong)，对生产过程中所需的(de)(de)各种高纯度(du)(du)气(qi)体(ti)也有具体(ti)和严格的(de)(de)要(yao)求(qiu)(qiu)。从微(wei)(wei)米技术到亚微(wei)(wei)米和深(shen)亚微(wei)(wei)米(小于0.35um)技术，对气(qi)体(ti)中杂质含量和水分(fen)含量的(de)(de)要(yao)求(qiu)(qiu)非常严格，10-6 (ppm级)不(bu)能满足要(yao)求(qiu)(qiu)。需(xu)要(yao)达到10-9 (ppb级)甚(shen)至10-12(ppt级)，粉尘粒径需(xu)要(yao)控制在0.05-0.01 μm。因(yin)此，输送管道的管道材料(liao)特性必须(xu)满足高纯度和超高纯度气(qi)体的要(yao)求(qiu)(qiu)。
3.管道(dao)材料(liao)的特(te)性对于(yu)输送高(gao)纯气体的管道(dao)，影(ying)响(xiang)气体质量的管道(dao)材料(liao)的主要特(te)性是透气性、出气率、吸附性、表面粗糙(cao)度、耐磨性和耐腐蚀性。
外(wai)观检(jian)查
1.管(guan)道布线应水平(ping)、平(ping)直和垂直;管(guan)子固(gu)定牢固(gu)。
2.管(guan)道外表面无(wu)明(ming)显损(sun)坏。
3.每个(ge)阀件没(mei)有明(ming)显(xian)损(sun)坏。系统耐压(ya)试(shi)验如果(guo)管(guan)道在充满压(ya)力后变形(xing)(如起泡、扭曲、膨胀(zhang)和(he)其(qi)他现象)，这意味(wei)着(zhe)系统不能(neng)在这种压(ya)力下(xia)工作(zuo)。如果(guo)系统在此压(ya)力下(xia)长时间工作(zuo)，系统将在变形(xing)位置爆裂，造成人(ren)身(shen)和(he)财产损失。
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