閥門分配箱主要用于氣體分配，這里主要介紹下閥門分配箱的應用等相關知識。
閥門(men)分配(pei)箱(VMB)多用于特種氣體(ti)的輸送中。在半導(dao)體(ti)、光伏太(tai)陽能、IC芯片等生產(chan)領(ling)域，VMB廣泛(fan)的應用于諸如磷(lin)烷(wan)、硼、硅烷、硫化氫、硫化氫、乙烯等易燃易爆、毒腐(fu)性(xing)氣體(ti)的分配當中。
近幾年(nian)來(lai)，智研數(shu)據研究中(zhong)心(xin)隨著我國超大規模集成電路、平(ping)板顯示器、光伏發電等產業的(de)迅速(su)發展(zhan)，電子(zi)氣(qi)體(ti)市(shi)場需求量明顯增長，電子(zi)特種氣(qi)體(ti)的(de)國產化(hua)已是大勢所趨(qu)。據了解(jie)，我國在(zai)國產化(hua)方(fang)面取(qu)得可喜進展(zhan)：國產高純(chun)氨(an)改變了國外氣(qi)體(ti)公司壟斷(duan)市(shi)場的(de)格局，高純(chun)四氟化(hua)碳“有價無(wu)貨"時(shi)代也宣告(gao)結束，高純(chun)氯化(hua)氫已成功(gong)打開國內市(shi)場。所以，閥門分配系統的(de)應用會越來(lai)越廣泛。
特氣(qi)(qi)VMB應(ying)設(she)計進氣(qi)(qi)管路(lu)(lu)隔離閥及壓力指示裝(zhuang)(zhuang)置(zhi)(zhi);氣(qi)(qi)體之路(lu)(lu)應(ying)設(she)有獨立的(de)壓力控制(zhi)調(diao)節閥、過(guo)濾器、過(guo)流開(kai)關;氣(qi)(qi)體的(de)支路(lu)(lu)應(ying)設(she)有獨立的(de)出(chu)口隔離閥;氣(qi)(qi)體分支路(lu)(lu)應(ying)設(she)置(zhi)(zhi)獨立的(de)吹(chui)掃氣(qi)(qi)體裝(zhuang)(zhuang)置(zhi)(zhi)、輔助(zhu)抽真空裝(zhuang)(zhuang)置(zhi)(zhi)等。
惰性氣(qi)體(ti)方面，應設置進氣(qi)管路隔離閥(fa)及(ji)壓力指示裝置;氣(qi)體(ti)之(zhi)路應設有獨立(li)的壓力控制調(diao)節(jie)閥(fa)、過(guo)濾器;氣(qi)體(ti)支路應設有獨立(li)出口隔離閥(fa)門。
電(dian)(dian)(dian)子(zi)氣(qi)體(ti)(ti)(ti)，尤其是帶有危險(xian)性的特殊氣(qi)體(ti)(ti)(ti)，是發展集成(cheng)電(dian)(dian)(dian)路、光電(dian)(dian)(dian)子(zi)、微(wei)電(dian)(dian)(dian)子(zi)，特別是超大(da)規(gui)模集成(cheng)電(dian)(dian)(dian)路、液晶顯示器件、半導(dao)體(ti)(ti)(ti)發光器件和半導(dao)體(ti)(ti)(ti)材(cai)料制造(zao)過程(cheng)中*的基(ji)礎性支撐源材(cai)料，它(ta)(ta)被稱(cheng)為電(dian)(dian)(dian)子(zi)工業的“血液"和“糧食"，它(ta)(ta)的純(chun)度(du)(du)和潔凈度(du)(du)直接影響(xiang)到光電(dian)(dian)(dian)子(zi)、微(wei)電(dian)(dian)(dian)子(zi)元器件的質量、集成(cheng)度(du)(du)、特定(ding)技術指標和成(cheng)品率，并從根本上制約著電(dian)(dian)(dian)路和器件的精確性和準(zhun)確性。
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