由(you)于實驗室氣(qi)路(lu)管道特(te)氣(qi)系(xi)統(tong)是(shi)一種具有高風險的供應系(xi)統(tong)，因此在生產線(xian)現場的維護需要專業、有經驗的技術(shu)員完成。特(te)氣(qi)系(xi)統(tong)的維護主要包含(han)特(te)氣(qi)柜維護和管路(lu)維護。
特(te)氣(qi)柜又分(fen)為全自動(dong)(dong)(dong)(dong)特(te)氣(qi)柜與半(ban)自動(dong)(dong)(dong)(dong)特(te)氣(qi)柜，每種氣(qi)柜的(de)維護方法(fa)有一(yi)(yi)定的(de)區別。全自動(dong)(dong)(dong)(dong)氣(qi)柜維護自動(dong)(dong)(dong)(dong)化程(cheng)度較高，并(bing)且(qie)安全可靠。在維護前關(guan)閉鋼瓶(ping)(ping)閥門，設(she)置(zhi)換瓶(ping)(ping)吹(chui)(chui)掃(sao)，程(cheng)序自動(dong)(dong)(dong)(dong)進行抽氣(qi)，置(zhi)換等動(dong)(dong)(dong)(dong)作，根據氣(qi)體性質的(de)不同(tong)，一(yi)(yi)般至少吹(chui)(chui)掃(sao)60次以(yi)上(shang)，負壓保(bao)壓30分(fen)鐘以(yi)上(shang)，確保(bao)氣(qi)柜各管(guan)路與閥門吹(chui)(chui)掃(sao)干(gan)凈(jing)。
管路(lu)的(de)(de)(de)(de)(de)維護(hu)，由于不同的(de)(de)(de)(de)(de)氣(qi)體(ti)性質不一樣，對(dui)(dui)管路(lu)維護(hu)的(de)(de)(de)(de)(de)方法(fa)也不相同，對(dui)(dui)腐蝕性氣(qi)體(ti)的(de)(de)(de)(de)(de)管道需(xu)要多次(ci)用高純氮(dan)氣(qi)吹掃(N2purge)，一般至少(shao)反(fan)復30次(ci)，對(dui)(dui)于有吸(xi)附(fu)性的(de)(de)(de)(de)(de)液態源氣(qi)體(ti)，由于管路(lu)容易堵(du)塞，需(xu)要多次(ci)的(de)(de)(de)(de)(de)反(fan)復的(de)(de)(de)(de)(de)抽真(zhen)空(kong)(kong)，抽完后關閉閥門，1小時后會出現壓力表回表的(de)(de)(de)(de)(de)現象，會造成(cheng)管道泄漏的(de)(de)(de)(de)(de)誤導(dao)，遇到此情況(kuang)打開真(zhen)空(kong)(kong)器發生器繼續抽，直到沒有吸(xi)附(fu)氣(qi)體(ti)釋放為止。
以(yi)上兩種系統維護后(hou)都必須做(zuo)正(zheng)壓(ya)(ya)與負壓(ya)(ya)的保(bao)壓(ya)(ya)測試，一般正(zheng)壓(ya)(ya)保(bao)壓(ya)(ya)壓(ya)(ya)力(li)為使用壓(ya)(ya)力(li)的1.2倍(bei)，負壓(ya)(ya)保(bao)壓(ya)(ya)為-12PSI，保(bao)壓(ya)(ya)時間至(zhi)少120分(fen)鐘(zhong)以(yi)上，由于(yu)壓(ya)(ya)力(li)傳感器(PT)受溫(wen)度的影響，一般有2PSI的正(zheng)負波(bo)動。
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