特氣柜實驗室用各類氣體管理科航閥門配件產品概述：

電子特氣管道系統，簡稱特氣系統由存儲、輸送、分配、控制四類組成，其中“存儲"是指氣源部分（特氣柜GC），“輸送"指(zhi)(zhi)配管(guan)方(fang)面（一般用雙套管(guan)），“分(fen)配"指(zhi)(zhi)二(er)次配部(bu)分(fen)（氣體(ti)分(fen)配柜VMB），“控制(zhi)"指(zhi)(zhi)監督(du)控制(zhi)部(bu)分(fen)（氣體(ti)管(guan)理系(xi)統(tong)(tong)GMS）。是一種廣(guang)泛應用于半導體(ti)、集成電路(lu)、光(guang)纖(xian)、太陽能(neng)電池等微電子(zi)行業(ye)的(de)氣路(lu)系(xi)統(tong)(tong)。

全自動GC（特氣柜）按功(gong)能設(she)計(ji)可分為單鋼瓶、雙鋼瓶、三鋼瓶。

單(dan)鋼(gang)的(de)設計通(tong)常(chang)使用于研究機構(gou)或實驗(yan)室(shi)等。工藝制程(cheng)尚未(wei)有(you)量(liang)(liang)產，氣(qi)體使用量(liang)(liang)小(xiao)，現場可隨時協(xie)調停機進行鋼(gang)瓶(ping)之(zhi)(zhi)更換，其(qi)優點節(jie)省空間、成(cheng)本低、但需透過日常(chang)之(zhi)(zhi)管理與(yu)協(xie)調以免中斷工藝制程(cheng)造成(cheng)損失。

雙鋼與三鋼常用(yong)(yong)于量(liang)產工(gong)廠(chang)，工(gong)藝制程不允許(xu)停機情況，當一(yi)(yi)支鋼瓶(ping)使用(yong)(yong)完后(hou)，另(ling)一(yi)(yi)支備用(yong)(yong)鋼瓶(ping)會(hui)自(zi)動轉為供氣(qi)，此兩種(zhong)形式(shi)最大的(de)(de)(de)(de)差別是(shi)在吹掃(sao)(sao)管路的(de)(de)(de)(de)高(gao)純(chun)氮氣(qi)是(shi)以鋼瓶(ping)或廠(chang)務(wu)端(duan)供應，當吹掃(sao)(sao)用(yong)(yong)的(de)(de)(de)(de)高(gao)純(chun)氮氣(qi)統(tong)一(yi)(yi)由廠(chang)務(wu)端(duan)來供應時(shi)，所有特殊氣(qi)體(ti)供應系(xi)(xi)統(tong)不管是(shi)否相(xiang)容，全部(bu)連接到同一(yi)(yi)個供應源(yuan)，會(hui)有較高(gao)的(de)(de)(de)(de)風險(xian)值(zhi)；萬一(yi)(yi)中央供應系(xi)(xi)統(tong)的(de)(de)(de)(de)高(gao)純(chun)氮氣(qi)中斷，警報系(xi)(xi)統(tong)又損壞，恰巧兩種(zhong)不相(xiang)容的(de)(de)(de)(de)氣(qi)體(ti)同時(shi)使用(yong)(yong)吹掃(sao)(sao)，此時(shi)極有可能發生爆炸的(de)(de)(de)(de)事件發生，相(xiang)同性質可使用(yong)(yong)同一(yi)(yi)瓶(ping)鋼瓶(ping)來吹掃(sao)(sao)增加的(de)(de)(de)(de)成本及空間(jian)非常有限(xian)，是(shi)一(yi)(yi)種(zhong)非常好的(de)(de)(de)(de)應變方式(shi)。

氣(qi)(qi)(qi)(qi)瓶(ping)(ping)(ping)(ping)柜(ju)與氣(qi)(qi)(qi)(qi)瓶(ping)(ping)(ping)(ping)架(jia)(jia)(jia)可采用單工(gong)藝(yi)(yi)氣(qi)(qi)(qi)(qi)瓶(ping)(ping)(ping)(ping)外(wai)置(zhi)吹掃(sao)氣(qi)(qi)(qi)(qi)源、雙工(gong)藝(yi)(yi)氣(qi)(qi)(qi)(qi)瓶(ping)(ping)(ping)(ping)外(wai)置(zhi)吹掃(sao)氣(qi)(qi)(qi)(qi)源、雙工(gong)藝(yi)(yi)氣(qi)(qi)(qi)(qi)瓶(ping)(ping)(ping)(ping)內置(zhi)吹掃(sao)氣(qi)(qi)(qi)(qi)源等多(duo)種結構配(pei)置(zhi)；不(bu)(bu)相容氣(qi)(qi)(qi)(qi)體瓶(ping)(ping)(ping)(ping)不(bu)(bu)應(ying)放(fang)置(zhi)于(yu)(yu)(yu)同一(yi)氣(qi)(qi)(qi)(qi)瓶(ping)(ping)(ping)(ping)柜(ju)或氣(qi)(qi)(qi)(qi)瓶(ping)(ping)(ping)(ping)架(jia)(jia)(jia)中；氣(qi)(qi)(qi)(qi)瓶(ping)(ping)(ping)(ping)柜(ju)、氣(qi)(qi)(qi)(qi)瓶(ping)(ping)(ping)(ping)架(jia)(jia)(jia)應(ying)設(she)置(zhi)作業用氣(qi)(qi)(qi)(qi)體面板；系統(tong)的(de)(de)供應(ying)能力(li)(li)(li)應(ying)經過熱力(li)(li)(li)學和流體力(li)(li)(li)學計(ji)(ji)算核(he)實；氣(qi)(qi)(qi)(qi)瓶(ping)(ping)(ping)(ping)柜(ju)閉門時應(ying)保持不(bu)(bu)低于(yu)(yu)(yu)100Pa負壓，柜(ju)內的(de)(de)排(pai)風換(huan)氣(qi)(qi)(qi)(qi)次(ci)數不(bu)(bu)得(de)低于(yu)(yu)(yu)300次(ci)/h;自燃(ran)(ran)性(xing)、易燃(ran)(ran)性(xing)、毒性(xing)、腐蝕性(xing)氣(qi)(qi)(qi)(qi)瓶(ping)(ping)(ping)(ping)柜(ju)應(ying)在排(pai)風出口設(she)置(zhi)固定式氣(qi)(qi)(qi)(qi)體泄漏探(tan)測(ce)器；氣(qi)(qi)(qi)(qi)瓶(ping)(ping)(ping)(ping)柜(ju)柜(ju)體 外(wai)殼鋼(gang)板厚度不(bu)(bu)應(ying)小(xiao)于(yu)(yu)(yu)2.5mm， 并(bing)應(ying)有(you)(you)防腐蝕涂(tu)層(ceng)；氣(qi)(qi)(qi)(qi)瓶(ping)(ping)(ping)(ping)柜(ju)門應(ying)具備(bei)自動關閉功(gong)能， 并(bing)應(ying)配(pei)備(bei)防爆玻璃(li)觀察窗；氣(qi)(qi)(qi)(qi)瓶(ping)(ping)(ping)(ping)柜(ju)的(de)(de)固定螺栓設(she)計(ji)(ji)應(ying)滿足當地地震設(she)防烈(lie)度的(de)(de)要求；氣(qi)(qi)(qi)(qi)瓶(ping)(ping)(ping)(ping)柜(ju)、氣(qi)(qi)(qi)(qi)瓶(ping)(ping)(ping)(ping)架(jia)(jia)(jia)應(ying)設(she)置(zhi)清晰明確的(de)(de)安全標(biao)識牌；當氣(qi)(qi)(qi)(qi)瓶(ping)(ping)(ping)(ping)柜(ju)放(fang)置(zhi)在有(you)(you)爆炸和火災危險環境時，其(qi)設(she)計(ji)(ji)應(ying)符合現行國家(jia)標(biao)準《爆炸危險環境電力(li)(li)(li)裝(zhuang)置(zhi)設(she)計(ji)(ji)規(gui)范》GB50058的(de)(de)有(you)(you)關規(gui)定。

是專(zhuan)為(wei)腐(fu)性(xing)，毒性(xing)等(deng)危(wei)(wei)險性(xing)氣(qi)(qi)(qi)體(ti)供(gong)(gong)應而設計的(de)(de)(de)供(gong)(gong)應系統，主(zhu)材選用(yong)SS316L，基本功能包(bao)括(kuo)自(zi)動(dong)吹掃，自(zi)動(dong)切(qie)換，以及自(zi)動(dong)切(qie)斷(duan)（當設定(ding)報(bao)警信號(hao)被(bei)觸發時(shi)）。在制(zhi)造業的(de)(de)(de)范疇內，特(te)(te)別是涉及到半導體(ti)與(yu)高精(jing)度化學制(zhi)品的(de)(de)(de)領域，特(te)(te)種(zhong)氣(qi)(qi)(qi)體(ti)（特(te)(te)氣(qi)(qi)(qi)）扮演著至(zhi)關重要的(de)(de)(de)基礎材料(liao)角色。確保這些(xie)氣(qi)(qi)(qi)體(ti)穩定(ding)、安(an)全地供(gong)(gong)給(gei)到生(sheng)產(chan)線，是維持高效(xiao)生(sheng)產(chan)的(de)(de)(de)關鍵。特(te)(te)氣(qi)(qi)(qi)管(guan)道(dao)工程是一(yi)種(zhong)危(wei)(wei)險性(xing)很高的(de)(de)(de)工程，是保證有(you)著易燃易爆(bao)、腐(fu)蝕、劇毒等(deng)性(xing)質的(de)(de)(de)特(te)(te)種(zhong)氣(qi)(qi)(qi)體(ti)的(de)(de)(de)安(an)全穩定(ding)輸(shu)送的(de)(de)(de)氣(qi)(qi)(qi)體(ti)供(gong)(gong)應系統，所以，為(wei)了用(yong)氣(qi)(qi)(qi)安(an)全，在安(an)裝特(te)(te)氣(qi)(qi)(qi)系統時(shi)，要嚴格遵守其中的(de)(de)(de)一(yi)些(xie)規定(ding)標準(zhun)。